如果在本征半導(dǎo)體中摻入少量的雜質(zhì),半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能將會大大的改善。在純凈的半導(dǎo)體硅(Si)中摻入少量的五價磷(P),就構(gòu)成了電子型半導(dǎo)體(簡稱N型半導(dǎo)體);或三價硼(B)元素,就構(gòu)成了空穴型半導(dǎo)體(簡稱P型半導(dǎo)體)。
晶硅電池技術(shù)是以硅片為襯底,根據(jù)硅片的差異區(qū)分為P型電池和N型電池。兩種電池發(fā)電原理無本質(zhì)差異,都是依據(jù)PN結(jié)進(jìn)行光生載流子分離。在P型半導(dǎo)體材料上擴(kuò)散磷元素,形成n+/p型結(jié)構(gòu)的太陽電池即為P型電池片;在N型半導(dǎo)體材料上注入硼元素,形成p+/n 型結(jié)構(gòu)的太陽電池即為N型電池片。
P型電池制作工藝相對簡單,成本較低,主要是BSF電池和PERC電池。2015年之前,BSF電池占據(jù)90%市場;2016年之后,PERC電池接棒起跑,到2020年,PERC電池在全球市場中的占比已經(jīng)超過85%,且目前以雙面PERC為主。
PERC(Passivated Emitter Rear Cell)——發(fā)射極及背面鈍化電池技術(shù),與常規(guī)電池不同之處在于背面,PERC電池采用了鈍化膜來鈍 化背面,取代了傳統(tǒng)的全鋁背場,增強(qiáng)光線在硅基的內(nèi)背反射,降低了背面的復(fù)合速率,從而使電池的效率提升0.5%-1%。2020年,規(guī);a(chǎn)的單/多晶電池平均轉(zhuǎn)換效率分別達(dá)到22.7%和19.4%。P型單晶電池均已采用PERC技術(shù),平均轉(zhuǎn)換效率同比提升 0.5個百分點。
由于P型單晶硅PERC電池理論轉(zhuǎn)換效率極限為24.5%,導(dǎo)致P型PERC單晶電池效率很難再有大幅度的提升;并且未能徹底解決以P型硅 片為基底的電池所產(chǎn)生的光衰現(xiàn)象,這些因素使得P型硅電池很難有進(jìn)一步的發(fā)展。與傳統(tǒng)的P型單晶電池和P型多晶電池相比, N型電池具有轉(zhuǎn)換效率高、雙面率高、溫度系數(shù)低、無光衰、弱光效應(yīng)好、載流子壽命更長 等優(yōu)點。
TOPCon(Tunnel Oxide Passivated Contact)——氧化層鈍化接觸。正面與常規(guī)N型太陽能電池或N-PERT太陽能電池沒有本質(zhì)區(qū)別,電池核心技術(shù)是背面鈍化接觸。電池背面由一層超薄氧化硅(1~2nm)與一層磷摻雜的微晶非晶混合Si薄膜組成,二者共同形成鈍化接觸結(jié)構(gòu)。鈍化性能通過退火過程進(jìn)行激活,Si薄膜在該退火過程中結(jié)晶性發(fā)生變化,由微晶非晶混合相轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑。?50°C的退火溫度下退火,iVoc>
710mV,J0在9-13fA/cm2,顯示了鈍化接觸結(jié)構(gòu)優(yōu)異的鈍化性能。
該結(jié)構(gòu)可以阻擋少子空穴復(fù)合,提升電池開路電壓及短路電流。超薄氧化層可以使多子電子隧穿進(jìn)入多晶硅層同時阻擋少子空穴復(fù)合,超薄氧化硅和重?fù)诫s硅薄膜良好的鈍化效果使得硅片表面能帶產(chǎn)生彎曲,從而形成場鈍化效果,電子隧穿的幾率大幅增加,接觸電阻下降,提升了電池的開路電壓和短路電流,從而提升電池轉(zhuǎn)化效率。
HJT(Heterojunction with Intrinsic Thin-film)——本征薄膜異質(zhì)結(jié)電池。具備對稱雙面電池結(jié)構(gòu),中間為N型晶體硅。正面依次沉積本征非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜,從而形成P-N結(jié)。背面則依次沉積本征非晶硅薄膜和N型非晶硅薄膜,以形成背表面場。
鑒于非晶硅的導(dǎo)電性比較差,因此在電池兩側(cè)沉積透明導(dǎo)電薄膜(TCO)進(jìn)行導(dǎo)電,最后采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)形成雙面電極。
主要得益于N型硅襯底以及非晶硅對基底表面缺陷的雙重鈍化作用。目前量產(chǎn)效率普遍已在24%以上;25%以上的技術(shù)路線已經(jīng)非常明確,即在前后表面使用摻雜納米晶硅、摻雜微晶硅、摻雜微晶氧化硅、摻雜微晶碳化硅取代現(xiàn)有的摻雜;HJT未來迭加IBC和鈣鈦礦轉(zhuǎn)換效率或可提升至30%以上。
由于HJT電池襯底通常為N型單晶硅,而N型單晶硅為磷摻雜,不存在P型晶硅中的硼氧復(fù)合、硼鐵復(fù)合等,所以HJT電池對于LID效應(yīng)是免疫的。HJT電池的表面沉積有TCO薄膜,無絕緣層,因此無表面層帶電的機(jī)會,從結(jié)構(gòu)上避免PID 發(fā)生。HJT電池首年衰減1-2%,此后每年衰減0.25%,遠(yuǎn)低于PERC電池?fù)芥壠乃p情況(首年衰減2%,此后每年衰減0.45%),也因此HJT電池全生命周期每W發(fā)電量高出雙面PERC電池約1.9%-2.9%。
IBC(Interdigitated Back Contact)——交叉指式背接觸電池技術(shù)。將P/N結(jié)、基底與發(fā)射區(qū)的接觸電極以交指形狀做在電池背面。核心技術(shù):如何在電池背面制備出質(zhì)量較好、成叉指狀間隔排列的p區(qū)和n區(qū)。通過在電池背面印刷一層含硼的叉指狀擴(kuò)散掩膜層,掩膜層上的硼經(jīng)擴(kuò)散后進(jìn)入N型襯底形成p+區(qū),而未印刷掩膜層的區(qū)域,經(jīng)磷擴(kuò)散后形成n+區(qū)。前表面制備金字塔狀絨面來增強(qiáng)光的吸收, 同時在前表面形成前表面場(FSF)。使用離子注入技術(shù)可獲得均勻性好、結(jié)深精確可控的p區(qū)和n區(qū),電池正面無柵線遮擋,可消除金屬電極的遮光電流損失,實現(xiàn)入射光子的最大利用化,較常規(guī)太陽電池短路電流可提高7%左右;由于背接觸結(jié)構(gòu),不必考慮柵線遮擋問題,可適當(dāng)加寬柵線比例,從而降低串聯(lián)電阻且有高的填充因子;可對表面鈍化及表面陷光結(jié)構(gòu)進(jìn)行最優(yōu)化的設(shè)計,可得到較低的前表面復(fù)合速率和表面反射,從而提高Voc和Jsc;外形美觀,尤其適用于光伏建筑一體化;但I(xiàn)BC電池成本較高尚未產(chǎn)業(yè)化,IBC電池制程工藝復(fù)雜,多次使用掩膜、光刻等半導(dǎo)體技術(shù),成本幾乎為常規(guī)電池的兩倍。
P-IBC技術(shù),是在隆基出來后大家才開始比較關(guān)注,隆基的P-IBC技術(shù)為HPBC,以P型硅片為基底。其實早在16-17年TNO宣傳P型IBC結(jié)構(gòu)。P-IBC加了個LPCVD其他的與PERC兼容,激光有點差別,90%兼容。P-IBC背結(jié)結(jié)構(gòu),效率有優(yōu)勢,目前還是偏向于單面,雙面率不到50%,定位成分布式產(chǎn)品。P-IBC有機(jī)會成本與PERC接近,效率做上去就是24.5%-25%,實現(xiàn)1-3分人民幣/W成本差距。
江蘇日托于2021年3月申請的專利《一種P型IBC電池的制備方法》,采用P 型硅片作為襯底,正背面均無需硼摻雜,且不需要掩膜和光刻,工藝步驟簡單,將傳統(tǒng) IBC復(fù)雜的過程(18步)簡化為12步,生產(chǎn)成本明顯降低。
S01:對P型單晶硅基底進(jìn)行化學(xué)清洗和堿拋光,去除硅基底表面的機(jī)械損傷層和污 染物,且使硅基底正背表面形貌較為平坦。
S03背面P擴(kuò)散、退火:對背面非晶硅層進(jìn)行磷摻雜處理,后高溫退火處理,非晶硅 轉(zhuǎn)化為多晶硅。
S05去除正側(cè)面PSG:在S02和S03過程中,同時會在基底正面以及側(cè)面形成磷硅玻璃層,即PSG,采用HF酸去除;
S08背面沉積減反射膜層:以PECVD的方式在基底背面沉積氮化硅、氮氧化硅中的一 種或多種迭層膜。
S09正面沉積減反射膜層:以PECVD的方式在基底正面沉積氮化硅、氮氧化硅中的一 種或多種迭層膜。
這種方法的變化在于(1)利用P型單晶硅襯底作為P區(qū),正背面均無需硼摻雜,且無需掩膜和光刻,工藝步驟簡單;(2)P區(qū)正電極采用Al漿,Ag漿使用量降低50%,且采用P型單晶硅作為基底,明顯降低了生產(chǎn)成本。激光設(shè)備在此方法下得到比較好的應(yīng)用。設(shè)備環(huán)節(jié)省去了比較昂貴離子注入和光刻掩膜設(shè)備,金屬化環(huán)節(jié)采用高溫銀漿與鋁 漿,金屬化成本同步降低,增加設(shè)備僅為激光設(shè)備與部分清洗設(shè)備,初步估計改良后P 型IBC設(shè)備與PERC/TOPcon設(shè)備成本較為接近,龍頭企業(yè)規(guī)模化采購,降低投資成本,預(yù)計單GW投資額約在1.9-2.1億元。